Tehnica ICP-MS folosește ca tehnică de ionizare plasma cuplată inductiv și spectrometria de masă ca metoda de separare si detectie a ionilor. Fiind o tehnică extrem de sensibilă permite analiza simultană a metalelor, a unor nemetale precum și analiza izotopică a speciilor la concentrații foarte mici, la nivel de 1-10 părți per trilion (ppt).